光刻机公司上市龙头有：
华特气体：光刻机龙头股，2022年第一季度季报显示，公司实现净利润3917.33万，同比增长41.12%；毛利润为9862.56万，毛利率25.72%。
公司的光刻气产品包括A/F/Ne、G/e、Ar/Ne和K/任F/Ne混合气等，4种光刻气均为国内唯一供应商﹐通过全球最大的光刻机公司ASML产品认证。
回顾近7个交易日，华特气体有2天下跌。期间整体下跌1.41%，最高价为62.41元，最低价为66.99元，总成交量448.77万手。
芯源微：光刻机龙头股，芯源微2022年第一季度，公司实现净利润3241.35万，同比增长398.34%；毛利润为7118.85万，毛利率38.75%。
作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶/显影机成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；通过多年的技术研发、实践应用积累以及持续承担国家02重大专项，公司成功突破了应用于集成电路制造前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技术，成型产品目前正在长江存储、上海华力等前道芯片制造厂商进行工艺验证。
近7日股价上涨0.4%，2022年股价下跌-21.1%。
大族激光：大族激光(002008.SZ)5月27日在投资者互动平台表示，公司光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，已实现小批量销售。
智光电气：公司通过广州誉芯众诚股权投资合伙企业（有限合伙）（持股比例30%）间接参股广州粤芯半导体技术有限公司80%股权，是粤芯的控股股东，粤芯项目是誉芯众诚的主要投资项目。粤芯半导体一期以90nm-180nm技术产品为主，二期以65nm-90nm技术产品为主。公司于2019年5月在互动平台透露，粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，光刻机等主要设备已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房。
永太科技：截至20年10月，公司光刻胶项目目前生产线已建成待商业化生产，公司正在积极与下游客户商谈合作，该项目产能为1500吨/年CF光刻胶。。
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